CVD鉆石培育配套氫氣發(fā)生器

憑借著在氣體分析、生成和校準(zhǔn)領(lǐng)域擁有三十年的經(jīng)驗，使我們能夠成立Leman Instruments SAS，這是一家專門從事固體、液體和氣體分析所涉及的科學(xué)設(shè)備模塊研發(fā)，生產(chǎn)和銷售的公司。公司主要生產(chǎn)地位于法國阿爾尚地區(qū)。主要產(chǎn)品包括實驗室氮?dú)獍l(fā)生器，氫氣發(fā)生器，氧氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生器等。

百瑞科技（南京）有限公司是一家專注于為醫(yī)療實驗室等領(lǐng)域提供各類氣體發(fā)生器（包括氮?dú)獍l(fā)生器，氫氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生器等），真空泵以及壓縮空氣成套設(shè)備解決方案的企業(yè)。公司先后與ekom醫(yī)療實驗室壓縮機(jī)生產(chǎn)商，意大利Werther，奧地利Metasys牙科設(shè)備制造商，以及丹麥flairmo，德國INMATEC，俄羅斯GRASYS，法國Leman Instruments等國外實驗室氣體發(fā)生器廠商機(jī)氣體分離系統(tǒng)廠商達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議。公司代理銷售的氣體發(fā)生器，氮?dú)獍l(fā)生器，氫氣發(fā)生器，零級空氣發(fā)生氣，牙科正負(fù)壓系統(tǒng)，空壓機(jī)成套設(shè)備以及后處理設(shè)備均滿足各種環(huán)境下的嚴(yán)苛需求，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石化，制藥，電子行業(yè)、以及各類實驗室等。產(chǎn)品包括ekom dk50系列無油空壓機(jī)，metasys hybrid系列牙科負(fù)壓抽吸泵，flairmo實驗室氮?dú)獍l(fā)生器等等，廣泛用于醫(yī)院，實驗室，食品行業(yè)等。

在CVD的工藝中，需要一種穩(wěn)定可靠的方法來供應(yīng)超高純度的氫氣。

使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運(yùn)輸?shù)臍錃饪杀苊庠阢@石合成過程中氫氣突然耗盡的問題，并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢，同時可以幫客戶節(jié)省長期的用氣成本。

氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數(shù)值。因此，氫氣鋼瓶中的氫氣需要進(jìn)一步干燥才可使用，常用的方法是使用鈀凈化器。

我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜，上面只能吸附和解吸氫離子。那么只要非滲透膜完好無損，系統(tǒng)中沒有任何泄漏，氫氣的純度就可以得到保證。因此需要定期測試鈀膜完整性，常用的方法是使用高真空，并檢查真空狀態(tài)是否可保持，或用氦氣對系統(tǒng)加壓以檢查泄漏。

但當(dāng)使用鈀膜凈化氫氣時，需要關(guān)注到的一個問題是“氫脆"。在某些條件下，留在金屬中的氫離子會導(dǎo)致鈀脆裂。這是進(jìn)行真空泄漏測試或氦氣加壓測試的主要原因之一。同時，保持真空可去除鈀中吸收的氫離子，以避免氫脆。

若不使用鈀膜凈化，其他的干燥技術(shù)同樣也可以產(chǎn)生超高純度的氫氣，例如，Leman Instruments 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術(shù)生產(chǎn)的超高純氫氣，具有ppb水平含量的微量氧氣和水分，而不存在“氫脆"對鈀凈化器造成損害這樣的風(fēng)險，避免了因為鈀膜損壞而導(dǎo)致的高昂的維護(hù)費(fèi)用。

當(dāng)然，PSA凈化技術(shù)也不需要進(jìn)行真空泄漏測試，因為PSA技術(shù)相對于鈀凈化器來說是一種“滲透膜"，因此真空測試并不適用，若進(jìn)行真空測試，則可能會失敗，用戶可能需要更改其驗證方法。然而，明顯的優(yōu)勢是，PSA通常具有更高的可靠性，若發(fā)生故障，PSA凈化技術(shù)的維修成本也更低。

結(jié)論

PSA凈化技術(shù)可應(yīng)用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣，從而避免使用鈀膜凈化技術(shù)的缺點(diǎn)。

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